UltraSM 純シリコンメンブレンTEMウィンドウ
Amorphous Pure Silicon TEM Windows

5nm, 9nm, 15nm, Nano Porous (30nm)

● ナノメーターの薄さ : 5～15nm厚の非常に薄い純シリコン膜は、バックグラウンドの寄与や干渉を減少させ、高コントラスト画像を得ることができます。また、5nm厚の純シリコン膜は、商用で最も薄いアモルファスカーボン膜よりも薄い膜になります。

● プラズマクリーニングが可能 : Ultra SM シリコンTEMウィンドウは、カーボングリッドと異なり強度にプラズマクリーニングが可能です。有機不純物を取り除き、画質を向上することができます。

● 均一性の向上 : フィールドからフィールドへの変動性が減少しました。

● 1000℃以上(non-porousは600℃以上)の耐熱性 : 高温で動的プロセスが観察される環境のTEMをサポートします。

● 色にじみが減少 : 商用で最も薄いアモルファスカーボン膜と比較すると、5 nm 非孔開きシリコンTEMウィンドウの色にじみは半分です。この劇的な違いはシリコンTEMウィンドウの薄膜を通過する非弾性散乱電子が半分に減少したことから生じます。色にじみの減少により、画質は倍のコントラストへ改善します。
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PUREシリコンTEMウィンドウ

● ナノスケールの微細孔 : UltraSM TEMウィンドウは径5～50nmの孔開きフィルムを選択できます。この微細孔により、ナノスケール材料のバックグラウンドのない画像が得られます。
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ナノ細孔純シリコンメンブレンTEMグリッド

● 孤立した多結晶 : Porous(孔開き) UltraSM TEM Windowsの多結晶性により、X線解析研究の標準較正が可能です。孤立した結晶特性は、高分解能寸法計測において、便利で信頼性のある計測を提供します。シリコン結晶格子がよく特徴付けられています。画像をクリックすると拡大します。→

ナノ細孔純シリコンメンブレンTEMグリッド

● シリコン組成 : Ultra SM シリコンTEMグリッド膜のシリコンの元素組成は、高アニーリング温度及び高ビーム電流下での安定性を著しく増加させます。また、純シリコン組成はバックグラウンドシグナルの最小化し、EDXやEELSによる窒素やカーボンを含んだ試料の元素分析を可能にします。

● 親水性 : 非孔開き及び孔開きUltraSM TEMウィンドウの親水性は、プラズマ又はオゾン処理によって調整でき、特に水溶液試料の試料調整を容易にします。


  • PUREシリコンTEMウィンドウ
  • PUREシリコンTEMウィンドウ

純シリコンメンブレンTEMウィンドウ

＜Non-Porous Pure Silicon UltraSM TEM Windows＞


  • US100-A05Q00

  • US100-A05Q33A

  • US100-A05L

  • US100-A09Q33

  • US100-A09L

  • US100-A15Q33

  • US100-A15L

Cat No.フレーム厚膜厚ウィンドウサイズグリッド径枚数
US100-A05Q00100um5nm25×25um
Single Window		3mm10
US100-A05Q33A50×50um (8)
50×100um (1)
9 Windows
US100-A05L50×1500um (2)
2 Slots
US100-A09Q339nm100×100um (8)
100×350um (1)
9 Windows
US100-A09L100×1500um (2)
2 Slots
US100H-A15Q33
[Hex frame]		15nm100×100um (8)
100×350um (1)
9 Windows
US100-A15L100×1500um (2)
2 Slots

酸化シリコンメンブレンTEMウィンドウ
Silicon Dioxide TEM Windows

20nm, 40nm

● プラズマクリーニングが可能 : 酸化シリコンメンブレンTEMウィンドウは、カーボングリッドと異なり強度にプラズマクリーニングが可能です。有機不純物を取り除き、画質を向上することができます。
● 均一性の向上 : フィールドからフィールドへの変動性が減少しました。
● 1000℃以上の耐熱性 : 高温で動的プロセスが観察される環境のTEMをサポートします。
● 化学的・機械的に非常に堅牢 : ほぼ全ての酸、アルカリ、有機溶媒に耐えることができ、コロイド、繊維、ナノ粒子、粉末、高分子及び線材料などの沈着、成長を直接支持膜上で観察、解析することができます。半導体産業に一般的なCVD、スパッター、電子ビーム或いは蒸着法などを適用できます。


  • SO100-A20Q33A

  • SO100-A40Q33

Cat No.フレーム厚膜厚ウィンドウサイズグリッド径枚数
SO100-A20Q33A100um20nm50×50um (8)
50×100um (1)
9 Windows		3mm10
SO100-A40Q3340nm100×100um (8)
100×350um (1)
9 Windows

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