窒化シリコンメンブレンTEMウィンドウ
Silicon Nitride Membrane TEM Windows
窒化シリコンメンブレンTEMウィンドウ ＜SiN Membrane TEM Windows＞
5nm, 10nm, 20nm, 50nm, Micro Porous
● プラズマクリーニングが可能 : 窒化シリコンTEMウィンドウは、カーボングリッドと異なり強度にプラズマクリーニングが可能です。
● 均一性の向上 : フィールドからフィールドへの変動性が減少しました。
● 1000℃以上の耐熱性 : 高温で動的プロセスが観察される環境のTEMをサポートします。
● 化学的・機械的に非常に堅牢 : ほぼ全ての酸、アルカリ、有機溶媒に耐えることができ、コロイド、繊維、ナノ粒子、粉末、高分子及び線材料などの沈着、成長を直接支持膜上で観察、解析することができます。半導体産業に一般的なCVD、スパッター、電子ビーム或いは蒸着法などを適用できます。
● フレーム厚：100um グリッド径：3mm
| Amorphous Pure Silicon | Porous Nanocrystalline Silicon | Silicon Dioxide | Silicon Nitride | カーボン膜 ＜標準＞ | カーボン膜 ＜極薄＞ |
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| 非結晶 純シリコン膜 | 多孔ナノ結晶性 シリコン膜 | 二酸化 シリコン膜 | 窒化 シリコン膜 |
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| メンブレン厚 | 5, 9, 15nm | 30nm | 20, 40nm | 5, 10 20, 50nm | 20～50nm | ～10nm |
| 画質 | 優れる | 良好 | 有効 | 良好 | 有効 | 良好 |
| プラズマ洗浄 | 可能 | 不可 | ||||
| 元素分析 バックグラウンド | Siのみ | Si, O | Si, N | C, H | ||
| 熱的安定性 | ～600℃ | >1000℃ | ～400℃ | |||
| 化学安定性 | 強塩基を避ける | 良好 | 優れる | 良好 | ||
| 高ビーム電流 耐性 | 優れる | 有効 | 優れる | |||
| コンタミネーション 原因物質 | なし | カーボン | ||||
| ナノスケール細孔 | なし | 有り | なし | なし | ||
| バックグラウンド 特色 | なし | ナノ結晶 | なし | なし | ||
窒化シリコンメンブレンTEMウィンドウ
SN100-A05Q00
SN100-A05L
SN100H-A10Q33
SN100-A20Q05
SN100-A50Q10
SN100-A50Q01
SN100-A50Q05
SN100H-A50Q33
| Cat No. | 膜厚 | ウィンドウ | 枚数 |
|---|---|---|---|
| SN100-A05Q00 | 5nm | 25×25um Single Window | 10 |
| SN100H-A05Q33A [Hex frame] | 50×50um (8) 50×100um (1) 9 Windows |
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| SN100-A05L | 50×1500um (2) 2 Slots |
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| SN100H-A10Q33 [Hex frame] | 10nm | 100×100um (8) 100×350um (1) 9 Windows |
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| SN100-A20Q05 | 20nm | 500×500um Single Window |
|
| SN100H-A20Q33 [Hex frame] | 100×100um (8) 100×350um (1) 9 Windows |
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| SN100-A50Q10 | 50nm | 1000×1000um Single Window |
|
| SN100-A50Q01 | 100×100um Single Window |
||
| SN100-A50Q05 | 500×500um Single Window |
||
| SN100H-A50Q33 [Hex frame] | 100×100um (8) 100×350um (1) 9 Windows |
微細孔窒化シリコンメンブレンTEMウィンドウ
＜Microporous Silicon Nitride Membrane TEM Windows＞
500×500umウィンドウ内の20又は50nm厚の窒化シリコン膜に、2umの微細孔がパターン形成されています。微細孔ウィンドウは様々な薄膜(例:グラフェン)のマウントに使用できます。また、CryoEM及び高傾斜トモグラフィーに使用することができます。70°傾斜角では、斜角の付けられた薄い100umフレームは、どんな回転配向からのウィンドウ中心内領域(~50×50um)も使用することができます。
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SN100-A50MP2Q05
SN100-A20MP2Q05
| Cat No. | 膜厚 | ウィンドウ | 枚数 |
|---|---|---|---|
| SN100-A50MP2Q05 | 50nm | 500×500um | 10 |
| SN100-A20MP2Q05 | 20nm |