AFM／SPM Tip Check & Nioprobe Calibration
AFM／SPM Tip Check
Tip Checkは、チッププローブのシャフトの検査及びチップの破損の検出等に使用されます。反転画像を活用することで、素早く簡易に、SEM検査をせずにチップの評価が可能です。
1. このTip Checkの表面画像は、破損が無いシャープなSiNコンタクトモードチップによって得られました。特徴である滑らかで平らな面、はっきりとした断面と先端、そして形状的画像(左図)と横力マップ(右図)との一致が見られます。
2. 使用されていたやや磨耗したチップにより得られた画像。形状的特長はまだ顕著に現れていますが、明確ではありません。横力マップが画像上変化しました。チップが破損した形跡はありません。
3. 鈍化したチップにより得られた画像。1の画像と比較し、横力画像(右図)は丸みを帯び始めています。
4. 新しい破損の無いチップから得られた画像の別例
5. もしチップが破損したり、大きく磨耗した場合、球状に近くなるか平らになります。新しいチップは使用するにつれ精度が悪くなり、4の画像から徐々に画質が低下していきます。
6. この画像は、欠陥のあるチップによって得られました。画像に望ましくない現象が現れる結果となり、チップ先端は刻み目が付けられることを示唆します。
| Cat No. | 品名 |
|---|---|
| SU101 | AFM/SPM Tip Check Calibration |