SEM用分解能測定試料

＜カーボン上 金蒸着＞



↓画像をクリックで拡大
分解能測定用


分解能測定用
Cat No.タイプ
S1685-150nm
S168U5-150nm
(Unmounted)

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高分解能測定用

高分解能測定用
Cat No.タイプ
S19693-50nm
S1969U3-50nm
(Unmounted)


超高分解能測定用

超高分解能測定用
Cat No.タイプ
S1987<1-30nm



低加速電圧観察用

低加速電圧観察用
Cat No.タイプ
S168ZLow Kv Au-C
<30-500nm
S168UZ<30-500nm
Unmounted

＜カーボン上 錫球＞


中分解能測定用

中分解能測定用
Cat No.タイプ
S1967Sn-C
<10-100nm


低加速電圧観察用

低加速電圧観察用
Cat No.タイプ
S1988Low Kv Sn-C
<20-400nm



分解能測定用 (Universal)


分解能測定用 (Universal)
Cat No.タイプ
S1937Universal Sn-C
<5nm-30μm
S1937UUnmounted

商品イメージ:S1937


Pelco Gold
Pelco Gold


非点補正用

　1000mesh TEM Cu Gridに鋭角な金粒子が蒸着されており、クリアー・シャープ・ハイコントラスト像により容易に非点補正が可能です。商品イメージはこちらをクリック

Cat No.試料
S1968Prickly Pelco Gold
S1968UUnmounted
  • 試料はφ12.5mmピンスタブにマウントされています。(Unmounted,S1937T,S145は除く)
    試料のコンタミネーションを避けるため、G3688 ピンスタブ用デシケーターでの保管をお薦め致します。
    Hitachi／JEOL用スタブ(φ10／φ12.5／φ15mm)をご希望の場合はご指定ください。

標準試料各種



The Chessy Specimen

SEM用Chessy試料

　Chessy試料は、SEMの標準試料として用いられるもので、20倍から50,000倍までの倍率で有効であり、像のゆがみの検定にも使用できます。シリコン上に160万個以上の金の正方形で構成され、5×5mmの正方形の領域に4つ折りのチェッカーボードパターンが形成されています。パターンは、電子ビームリソグラフィー技術を使用して、直接レジストに書き込まれます。試料全体のサイズは10×10mmです。最小のチェッカーボードサイズは10×10μm(最小の正方形は1×1µm)です。これらは100×100μmのチェッカーボードを形成し、さらに、これらが1×1mmのチェッカーボードを形成します。最後に、これらの正方形が同様の方式で5×5mmの正方形の領域に配置されます。
シリコンフリーム厚: 525μm ± 25μm
金パターン厚: 100μm

Cat No.
S171

シリコンテスト試料

シリコンテスト試料

　1umピッチグリッド付きシリコンテスト試料は、100倍～10,000倍の範囲での倍率較正及び画像歪みチェックに非常に有用です。SEM、オージェ電子分光、二次イオン質量分析、集束ビーム、光学顕微鏡(反射光)に使用できます。試料は、直接シリコンテスト試料に載せることができるので、画像の中で正確な内部較正が行えます。特に粉末を扱う時に適しています。試料はNISTスタンダードに対し個別に認定されています。
　証明書サンプル: ⇒S1934
　試料の保管については真空デシケーターをお薦め致します。試料をマウントする試料台はこちらよりお選びください。又、Unmountedタイプもございます。製品説明及び拡大図はこちらをクリックしてください。

[ Q & A ] 　

Cat No.マウントタイプ
S1934試料のみ又は
マウントタイプ(A～Q)
をお選びください。

X-CHECKER

X-CHECKER

　モニターエネルギー分散型分光器／SEMシステム。X-CHECKERは、SEMにおけるEDSのX線システムの性能監視を補助する較正試料です。X-CHECKERにより、検出器の分解能及び較正の確認、検出器ウィンドウの汚染テスト、低い検出感度の監視、ご使用のEDSシステムの較正が可能です。
　S0850Aは、薄いウィンドウ及びウィンドウの無い検出器の低い性能を、より高感度で監視できるボロンナイトライドが追加されます。さらに、S0850Bはフッ素K-アルファピーク(低分解能計測の業界標準)での分解能テストのためにフッ素源がプラスされており、また、低い検出性能の最終テストのためのBe half Gridが追加されます。
　※こちらよりマウントタイプ(アルミ試料台)お選びください。
　又、試料のみの選択も可能です。試料は真空デシケーターでの保管をお薦め致します。

Cat No.試料種類
S0850Mn, Cu, C, Ni (400,1000mesh Grid)
S0850AMn, Cu, C, Ni (400,1000mesh Grid), BN
S0850BMn, Cu, C, Ni (400mesh Grid), BN, F, Be (Half Grid)

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