倍率較正試料

CD倍率較正試料

　SEM, FESEM, FIB, CD-SEMの迅速で正確な倍率較正を容易に行うことができます。様々な測定範囲において十分な機能やトレーサブル較正基準を持ちます。これらは、最新の半導体及びMEMS製造技術を用いて作られています。

　倍率較正試料は超平坦なシリコン基板上で作られており、5umまでのボックスに対し精密に50nmのクロム蒸着がされており、2umから100nmまでのボックスに対しては、50nmの金が20nmのクロム上に蒸着されています。シリコン上のクロム及び金／クロムは、SE及びBSEイメージングモードの両方において優れたコントラストをもたらします。シリコン基板及びクロム／金の特性全てに導電性があるため、帯電の問題がありません。また、頑丈な構造によりプラズマ洗浄が可能です。

　より小さなボックスは、迅速な測定のために入れ子状になっています。ボックスの精度は<0.3%です。スタンダードのサイズは2.5×2.5mmで厚さ525±10umです。シリコン表面はコーティングされていません。各スタンダードには固有の識別番号が振られます。

倍率較正試料

倍率較正試料

　S2009Tはピッチ2mm-1um 10～20,000倍までの倍率較正試料です。デスクトップSEM及び低倍率に適します。
　S2009STはピッチ2mm-100nm 10～200,000倍までの倍率較正試料で、全てのSEM及び殆どのFESEMに適します。ピッチパターンは時計回りに螺旋状に縮小していきます。
　S2009TとS2009STは共に、NISTスタンダードに対し個別に認定されています。
　証明書サンプル: ⇒S2009T　 ⇒S2009ST

　試料をマウントする試料台はこちらよりお選びください。又、試料のみもございます。試料は真空デシケーターでの保管をお薦め致します。こちらの製品は再認証できません。再認証をご希望される場合は、倍率較正試料 ISO 17025を選択ください。

Cat No.マウントタイプ
S2009T試料のみ(U)又は
マウントタイプ(A～Q)
をお選びください。
S2009ST

倍率較正試料 ISO 17025

　ISO 17025:2017の認証を取得した製品です。仕様は上記製品と同じです。
証明書サンプル: ⇒S2009T-ISO　 ⇒S2009ST-ISO

　試料をマウントする試料台はこちらよりお選びください。又、試料のみもございます。試料は真空デシケーターでの保管をお薦め致します。

Cat No.マウントタイプ／再認証
S2009T-IS試料のみ(U)又は
マウントタイプ(A～Q)
をお選びください。
S2009ST-IS
S2009T-IS-R再認証
S2009ST-IS-R

XY軸倍率較正試料

CD倍率較正試料

XY軸倍率較正試料

XY軸倍率較正試料

　XY軸倍率較正試料は、試料を回転させることなくXY軸の倍率較正ができます。仕様は、上述の倍率較正試料と同じです。S2012XYTはピッチ2mm-1um 10～20,000倍までの倍率較正試料です。デスクトップSEM及び低倍率に適します。
　S2012XYSTはピッチ2mm-100nm 10～200,000倍までの倍率較正試料で、全てのSEM及び殆どのFESEMに適します。ピッチパターンは時計回りに螺旋状に縮小していきます。
　S2012XYTとS2012XYSTは共に、NISTスタンダードに対し個別に認定されています。
　証明書サンプル: ⇒S2012XYT　 ⇒S2012XYST

　試料をマウントする試料台はこちらよりお選びください。又、試料のみもございます。試料は真空デシケーターでの保管をお薦め致します。こちらの製品は再認証できません。再認証をご希望される場合は、XY倍率較正試料 ISO 17025を選択ください。

Cat No.マウントタイプ
S2012XYT試料のみ(U)又は
マウントタイプ(A～Q)
をお選びください。
S2012XYST

XY倍率較正試料 ISO 17025

　ISO 17025:2017の認証を取得した製品です。仕様は上記製品と同じです。
証明書サンプル: ⇒S2012XYT-ISO　 ⇒S2012XYST-ISO

　試料をマウントする試料台はこちらよりお選びください。又、試料のみもございます。試料は真空デシケーターでの保管をお薦め致します。

Cat No.マウントタイプ／再認証
S2012XYT-IS試料のみ(U)又は
マウントタイプ(A～Q)
をお選びください。
S2012XYST-IS
S2012XYT-IS-R再認証
S2012XYST-IS-R

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